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In-plane 衍射

  In-plane衍射對于薄膜表征非常重要。如配置Bragg-Brentano標準測角儀,用于測量平行于樣品表面的晶面,X射線穿透樣品到一定深度,產生衍射;而若樣品層太薄,X射線則完全透過樣品而不產生衍射。這種情況下,應使用in-plane衍射。 In-plane衍射具有以下兩個特點:
1.光束穿透深度有限,約100 nm。
2.該技術測量幾乎垂直樣品表面的晶面,是其他技術無法達到的。

系統

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