In-plane 衍射

In-plane衍射對于薄膜表征非常重要。如配置Bragg-Brentano標準測角儀，用于測量平行于樣品表面的晶面，X射線穿透樣品到一定深度，產生衍射；而若樣品層太薄，X射線則完全透過樣品而不產生衍射。這種情況下，應使用in-plane衍射。 In-plane衍射具有以下兩個特點：
1.光束穿透深度有限，約100 nm。
2.該技術測量幾乎垂直樣品表面的晶面，是其他技術無法達到的。