微區衍射

X射線衍射（XRD）分析小樣品或大樣品的微小區域通常被稱為微區衍射。當樣品非常小，傳統衍射儀的光路和精度無法滿足測量要求時，采用微區X射線光路反映樣品上衍射分布信息。精確的定位能力使X射線微小光束準確照在樣品表面，獲得的信息作為衍射功能圖(DFM)。衍射數據庫包括化合物鑒定，晶體取向，應力，結晶度，晶粒尺寸。在材料研究和制造領域微區衍射發展迅速，由于小區域會影響產品成品率和可靠性。微區衍射分析應用包括：組合化合物庫，地質樣品中夾雜物，金屬或塑料部件的失效分析和工廠質量控制(QC)。